1、磨平，使用320grit砂紙水冷，磨制2~3分鐘，去除切割產(chǎn)生的損傷層，并使樣品表面平坦。使用320grit SiC砂紙，水冷，轉(zhuǎn)速240 RPM，同向轉(zhuǎn)動(dòng)*，壓力：27N（6lbs）/每個(gè)樣品，直到樣品磨平為止。
注：去除切割損傷層是打磨的基礎(chǔ)任務(wù)，如果去除不凈，直接后果是觀察到的現(xiàn)象可能為假象。
2、粗拋光，把9μm的metaDI金剛石拋光膏預(yù)先涂抹在帶孔的TEXMET拋光布上，使用蒸餾水做為冷卻潤(rùn)滑劑，拋光10~15分鐘。粗拋光過(guò)程：9μm metaDI金剛石拋光液+ metaDI拋光潤(rùn)滑劑，使用ULTRA-PAD拋光表面，轉(zhuǎn)速120 RPM, 反向轉(zhuǎn)動(dòng)**，壓力：27N（6lbs）/每個(gè)樣品，時(shí)間10min。
3、最終拋光，使用MICROCLOTH或者M(jìn)ASTERTEX拋光布，添加MASTERMET二氧化硅懸浮拋光液，拋光10~15分鐘。最終拋光過(guò)程：在MICROCLOTH拋光表面上，使用MASTERMET 二氧化硅拋光液，轉(zhuǎn)速120 RPM, 反向轉(zhuǎn)動(dòng)，壓力：27N（6lbs）/每個(gè)樣品，時(shí)間10min。 注：在拋光過(guò)程中，樣品需要定時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)方向，大多數(shù)金屬合金中存在硬質(zhì)相，如果不轉(zhuǎn)動(dòng)方向，拋光的樣品在硬質(zhì)相上會(huì)有黑色的“長(zhǎng)尾巴”，影響金相質(zhì)量，解決“長(zhǎng)尾巴”問(wèn)題的關(guān)鍵在于轉(zhuǎn)動(dòng)樣品的方向。每次可以轉(zhuǎn)90度或180度。