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姚力軍:填補中國超高純金屬及濺射靶材的空白

   2015-01-23 IP屬地 陜西32500
  超高純金屬材料是半導體產業的必需原材料,也是被日美大型企業嚴重壟斷,造成我國半導體產業依賴性的關鍵材料。有人曾戲言,當年我國的半導體芯片產業除了水和空氣來自中國,其余所有的設備、材料和工藝都來自國外。
  國家需要半導體材料產業的發展,它是國家安全和所有信息產業進步的基礎。如今,在國家“千人計劃”專家,江豐電子創始人姚力軍的帶領下,2014年江豐電子實現了低氧超高純的批量生產,打破了美國、日本等跨國企業對我國的封鎖,使我國成為了世界上第三個能夠生產低氧超高純鈦的國家。建設完成了23000平方米的高純鈦生產基地,自主設計并制造了低氧超高純鈦熔煉電解設備,完成了多槍冷床電子束熔鑄設備的安裝,開發了擁有自主知識產權的低氧超高純鈦提煉、熔鑄及分析檢測等核心技術。
  在科技創新方面,姚力軍帶領團隊取得了一系列突破。
  成功完成國家02重大專項(300mm硅片工藝用Al、Ti、Ta靶材制造技術研發與產業化)項目驗收,研發的產品成功取代國外進口,在國內中芯國際為代表的半導體企業得到廣泛應用,市場占有率超過50%。承擔的國家重大專項(300mm硅片45-28納米配線用超高純系列濺射靶材)項目得到重大進展,Ta靶材、Cu靶材成功通過臺積電等世界一流半導體企業評價,江豐系列產品在以臺積電為代表的世界一流半導體企業的最先端工藝得到批量應用,所生產的產品直接用于iphone6、奧迪、豐田等高端終端產品。
  填補我國在液晶平板顯示(LCD)材料產業中的空白,開發的超高純鋁濺射靶材取得重大突破,結束了我國長期依賴從日本進口相關材料的歷史。江豐電子所生產的G6代和G8.5代超高純鋁靶材分別成功通過京東方(合肥廠)及華星光電(深圳廠)的評價,在客戶端生產線實現應用,江豐電子成為中國第一個能夠生產高世代平板顯示工業用超高純靶材的企業,為我國相關產業的發展做出重大貢獻。
  自主知識產權建設取得重大突破。2014年度姚力軍作為第一專利發明人獲得授權專利27項(其中發明專利21項),申請發明專利59項(其中發明專利54項)。獲得中國有色金屬行業科技進步一等獎,寧波市科技進步一等獎。
 
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